| 氮氣 通常用于冷卻及清除程序，氮氣在電子及半導體產品的生產中不可或缺。 |
氬氣 具有高穩(wěn)定性及極低的反應性，氬氣是太陽能及半導體薄片生產中的關鍵氣體。 |
氫氣 許多電子制造商均使用氫氣，氫氣可作為薄膜沉積的載運氣體以及爐處理中的還原劑。 |
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| 氦氣 氦氣在平板顯示器市場起著重要作用，可用作冷卻劑，同時也是半導體設備制造所需受控環(huán)境中的重要組成部分。 |
二氧化碳 高純度二氧化碳有助于清洗應用中超小顆粒的清除，在關鍵半導體層的干燥中，可以防止光刻膠的崩潰。 |
氨氣 在氮基薄膜以及外延晶體的發(fā)展中，氨氣是最常見的氮前體。其超高純度的特性對發(fā)光二極管行業(yè)中外延晶體的應用非常關鍵。 |
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